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2014年版 SiC単結晶市場の現状と展望

SiC単結晶は次世代パワー半導体用材料と言われて久しいが、まだその本来ポテンシャルを発揮できていない。しかし、SiCパワー半導体としてダイオードだけでなくトランジスタの量産が進むなどシリコンパワー半導体との戦いが始まっている。このSiCパワー半導体において重要な材料であるSiC単結晶について、単結晶メーカーへのヒアリングをベースにエピハウスやユーザー側などの情報を加え、現状、および今後の市場性を捉えるレポートとして発刊した。

発刊日 2014年10月07日 体裁 93頁
資料コード C56111300 PDFサイズ 2.1MB
カテゴリ 環境・エネルギー、自動車、機械、エレクトロニクス
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資料閲覧開始 閲覧室: 2014/12/07~ コピーサービス
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2015/01/07~ 770円

目次

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9
【ク゛ラフ】SiC単結晶市場規模推移と予測(金額/2009~2020年予測)
2.SiC単結晶プレーヤーの取り組み
3.展望と課題
【図】ワイドバンドギャップ半導体材料としての理想事業化進展イメージ
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【表】各種半導体材料の物性値比較
17
【表】SiC単結晶の物性特徴と適応応用製品、SiC採用メリット
18
・MPからBPD、STDと各種欠陥の議論が進むも、デバイス側の評価が一番の物差しに
18
・昇華法以外のアプローチも進展、溶液法でも4インチ以上が視野に
21
・ウエハー高品質化となるMSE法ベースのバッファ膜形成はデバイス側での効果確認ステージへ
22
・コスト低減へ向け、ウエハー貼り合せによるアプローチも妙味
23
・エピ膜厚15μmレベル(=耐圧1,700V)までは標準的な対応が可能 それ以上(30μm=耐圧3,300V)へのアプローチが進む
23
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【表】SiC単結晶ウエハー、エピタキシャルウエハーの品質動向
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・合言葉の「1インチ1万円」、当面は6インチ単結晶ウエハー価格でこれに向かう
26
・当面は6インチ一定レベル品の安定生産が優先も、価格低下圧力は強い
27
27
【表】SiC単結晶ウエハー価格動向
28
【図】SiC単結晶ウエハーの面積単価動向
29
・主要メーカーの6インチ品が市場に出揃い、徐々に主戦場に
29
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【表】SiC単結晶主要メーカーのウエハー口径動向(ロードマップ含む)
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32
【図】SiC単結晶ウエハー市場進展イメージ(デバイス含む)
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【ク゛ラフ】SiC単結晶市場規模推移と予測(金額ベース、2009~2020年予測)
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【ク゛ラフ】SiC単結晶用途分野別市場規模推移と予測(金額ベース、2009~2020年予測)
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【表】SiC単結晶ポリタイプ×用途分野大別市場規模推移と予測(金額ベース、2009~2020年予測)
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【表】SiC単結晶パワーデバイス+非生産分野口径別市場規模推移と予測(枚数、面積、2009~2020年予測)
40
【表】SiC単結晶パワーデバイス+非生産分野口径別面積シェア推移と予測(2009~2020年予測)/SiC単結晶パワーデバイス+非生産分野口径別枚数シェア推移と予測(2009~2020年予測)
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【ク゛ラフ】SiC単結晶パワーデバイス+非生産分野口径別枚数シェア推移と予測(2009~2020年予測)
42
【ク゛ラフ】SiC単結晶パワーデバイス+非生産分野口径別面積市場規模推移と予測(2009~2020年予測)
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【ク゛ラフ】SiC単結晶市場メーカーシェア(トップ3金額ベース、2009年、2011年、2013年)
◆エア・ウォーター株式会社
46
・関連プレーヤーとの戦略的な関係構築で新技術領域の離陸を目指す
◆株式会社オーエステック(SICC Materials Co., Ltd)
50
・オーエステックは研磨や洗浄など関連事業も積極的に展開
◆昭和電工株式会社
53
・重点的な育成を進める事業化プロジェクトにギアチェンジ
◆独立行政法人情報通信研究機構
56
◆新日鐵住金株式会社(SiC/溶液成長法)
59
◆新日鉄住金マテリアルズ株式会社
63
・6インチの高次元安定生産へ 単結晶育成については一定の道筋
◆セラミックフォーラム株式会社(Ammono S.A.)
66
・サイクリスタル社の6インチは順次生産量アップへ 実績有する量産技術とデバイスからの的確なフィードバックルートが強み
◆太平洋セメント株式会社/屋久島電工株式会社
70
◆Ⅱ-Ⅵ Incorporated/ツーシックス
73
・最大のライバルはシリコン、次なる8インチも視野に
◆日新電機株式会社
75
◆株式会社ニューメタルスエンドケミカルスコーポレーション(Kyma Technologies)
79
・TanKeBlueの品質改善スピード加速化に手応え 足元マーケットが求める6インチ化の市場投入が目標
・HexaTechのAlN単結晶は将来的なパワーデバイスへ向けたアプローチに手応え
◆Cree,Inc.
82
・6インチ品は定常的な生産へ移行し、LED用を含めた全ウエハー生産においても半数近くへ
◆Dow Corning Corporation
85
・最上級グレード「プライム・ウルトラ」では貫通螺旋転位に加え基底面転位についても厳しい規格を明示
◆EpiWorld international Co., Ltd
86
・既にエピタキシャル装置は複数台稼動、30,000枚/年の能力を保有
◆株式会社MTK /Tanke Blue Semiconductor Co.,Ltd
89
・MTKの各種要望を日本のパワー半導体領域の要望という形で捉え対応中

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